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探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？
通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：
1、最大需要測幾英寸的晶圓或者器件？
2、探針臺機械精度要求多高？
3、點測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？
4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡最大倍率200倍）
5、最多需要幾根探針同時去點測？
6、會測試到的最大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）
7、漏電精度需要達到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：最小能測到的電流的量級）
8、是否會用到探針卡？
9、光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？
10、顯微
2018-11-0910283
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2018-11-085237
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直流輝光放電中等離子體診斷實驗操作指導(dǎo)手冊
2018-11-065277
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近代物理實驗“氣體放電中等離子體的研究”出實驗設(shè)備啦，一次由理論到實踐的轉(zhuǎn)變就從SSV-40開始
背景：實驗“氣體放電中等離子體的研究”為大學(xué)近代物理實驗中的必修實驗之一，但是一直以來都沒有公司或者是個人生產(chǎn)出完整的相對應(yīng)的實驗設(shè)備，因此該實驗一直處于紙上談兵的狀態(tài)，今天由東北大學(xué)真空與流體工程研究所教授團隊針對此實驗經(jīng)過多年的研究，終于開發(fā)出SSV-40型氣體放電與等離子診斷儀，并且面向全國各高校發(fā)售，從此實驗“氣體放電中等離子體的研究”從理論走向?qū)嵺`，從書本走向現(xiàn)實。
產(chǎn)品信息：
整套設(shè)備包括朗繆爾探針、氣體放電管、測量系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、進氣系統(tǒng)等部分組成。
朗繆爾探針、工作電壓、工作氣壓、氣體流量等部分均可獨立控制并且自由調(diào)節(jié)。
利用該裝置可實現(xiàn)的主要實驗內(nèi)容有：
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2018-10-246104
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探針臺系統(tǒng)剖析
探針臺系統(tǒng)分為手動探針臺與自動探針臺，以下我們主要分析手動探針臺：
探針臺用途：
手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。
探針臺系統(tǒng)組成：
探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表（請注意無測試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng)，探針臺只是提供一個測試平臺，一切數(shù)據(jù)的測量都需要依靠測試源表來完成）
探針臺測試環(huán)境：
可提供的測試環(huán)境有：常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環(huán)境。
2018-10-055292
