CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低溫真空探針臺測試系統
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◆特點/應用
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◆極低溫測試
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
◆高溫無氧化測試
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
◆ 腔體規格
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型號 |
CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
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樣品臺尺寸 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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樣品固定 |
彈簧壓片 |
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觀察窗口 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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真空度 |
10-6torr |
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探針臂接口 |
4~6個探針臂接口 |
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其他接口 |
電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
液氮/液氦/制冷機 |
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溫度范圍 |
77K到573K/4.5K到573K |
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溫控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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穩定性 |
±1K/±0.1K/±0.01K |
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外形 |
880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
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重量 |
約100千克/120千克 |
◆ 光學系統：
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動行程 |
水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環形光源/同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
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X-Y-Z移動行程 |
50mm*50mm*50mm |
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結構 |
外置探針臂，真空波紋管結構 |
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移動精度 |
10微米/1微米 |
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線纜 |
同軸線/三軸線/射頻線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
◆ 其他組件：
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真空組件 |
分子泵組/機械泵/離子泵 |
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冷源組件 |
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 |
◆ 可選附件
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超高溫配件 |
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顯示器 |
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轉接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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分子泵組 |
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激光系統 |
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氣敏測試配件 |
規格及設計如有更改，恕不另行通知。
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