CINDBEST CL-4 | 4~8" 精密I-V測試測量探針臺系統
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◆特點 / 應用
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◆臺體規格
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尺寸 |
4英寸/6英寸/8英寸 |
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水平旋轉 |
可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
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X-Y移動行程 |
4英寸*4英寸/6英寸*6英寸 |
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X-Y移動精度 |
10微米/1微米 |
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樣品臺Z軸調節 |
可升降10mm |
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樣品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
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針座平臺 |
U型針座平臺，最多可放置6個探針座 |
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背電極測試 |
樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
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外形尺寸 |
400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高 |
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重量 |
約40千克/60千克 |
◆光學系統
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動行程 |
X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環形光源/同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆探針座
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X-Y-Z移動行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移動精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米 |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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線纜 |
同軸線/三軸線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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針尖直徑 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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針尖材質 |
鎢鋼/鈹銅 |
◆可選附件
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加熱臺 |
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顯示器 |
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轉接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件 |
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高壓測試配件 |
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顯微鏡快速傾仰裝置 |
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激光系統 |
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探針卡夾具 |
PS:探針臺可根據客戶要求定制。
規格及設計如有更改，恕不另行通知。
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