CS -4| 4" 精密I-V測試測量探針臺系統(tǒng)
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◆特點/應(yīng)用
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◆臺體規(guī)格
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尺寸 |
4英寸/6英寸 |
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水平旋轉(zhuǎn) |
可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置 |
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X-Y移動行程 |
4英寸*4英寸 |
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X-Y移動精度 |
10微米 |
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樣品臺Z軸調(diào)節(jié) |
可升降10mm |
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樣品固定 |
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
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針座平臺 |
U型針座平臺，最多可放置6個探針座 |
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背電極測試 |
樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
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外形尺寸 |
400mm長*400mm寬*500mm高 |
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重量 |
約25千克 |
◆光學系統(tǒng)
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X |
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移動行程 |
水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm |
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光源 |
外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆探針座
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X-Y-Z移動行程 |
12mm*12mm*12mm |
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移動精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
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吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
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線纜 |
同軸線/三軸線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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針尖直徑 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
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針尖材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅 |
◆可選附件
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加熱臺 |
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顯示器 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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射頻測試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學平臺 |
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鍍金卡盤 |
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光電測試配件
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PS:探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計如有更改，恕不另行通知。
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