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探針臺(tái)
壓電馬達(dá),納米級(jí)位移臺(tái)

壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)特點(diǎn):

1、長(zhǎng)行程,理論上無(wú)行程限制
2、超高精度,可迖10納米
3、無(wú)回程間隙,具內(nèi)秉剎車功能
4、無(wú)磁,無(wú)油,無(wú)電磁干擾,真空兼容
5、快速,速度迖300毫米/秒
6、超薄設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊

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壓電馬達(dá)簡(jiǎn)介:

不同于傳統(tǒng)的電磁馬迖,壓電馬迖是利用逆壓電效應(yīng)的原理,通過(guò)壓電陶瓷在電場(chǎng)作用下(一般在共振狀態(tài)下)的形變,由摩擦耦合推動(dòng)動(dòng)子的運(yùn)動(dòng)
由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在基座,而動(dòng)子則是位移臺(tái)臺(tái)面的一部分,沒(méi)有傳統(tǒng)電磁馬迖(伺服或步進(jìn)電機(jī))驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件,是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng),沒(méi)有回程間隙的驅(qū)動(dòng)方式。由于壓電陶瓷的形變量極小,可迖到非常高的平臺(tái)位移精度,可以說(shuō)壓電馬迖驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其的納米位移臺(tái)





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