壓電馬達驅動的位移臺特點:
1、長行程,理論上無行程限制 2、超高精度,可迖10納米 3、無回程間隙,具內秉剎車功能 4、無磁,無油,無電磁干擾,真空兼容 5、快速,速度迖300毫米/秒 6、超薄設計,結構緊湊
測試
CS-4小型探針臺
CS系列探針臺最大可用于6英寸以內樣品測試; 可滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等。
CM-4簡易探針臺
CM系列探針臺可滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等; 外形輕盈,操作方便,價格實惠。
CL-6系列中端探針臺
CL系列探針臺可兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動; 可升級做射頻,大電流方面的測試和激光修復應用。