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二維材料轉移平臺
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全自動晶圓探針臺

主要技術參數
精度最⾼可達±1微⽶,采⽤全閉環運控系統,實現⾼精度、⾼效率和⾼魯棒性定位運動
IndexTime最⼩可達240毫秒,⼤理⽯底座,⾼剛性結構,實現⾼負載、低振動和快速整定運動
最⼤頂升⼒750kgf,Z軸四⻆⼀體化⽀撐,實現⾼負載或偏載情況下的形變量最⼩
測試溫度范圍-40⾄200℃,⾃主研發各類CHUCK,解決核⼼⼯藝問題,實現精準溫度控制
◆軟件功能
Wafer Alignment功能 Needle Alignment功能
Wafer ID OCR功能 PMI針痕檢測功能
最⼤兼容200萬個Die GPIB通訊
調圖重測,與國外主流機型雙向兼容 ⽀持SECS/GEM通訊協議
⽀持導⼊⽂件快速⽣成Map Map及Die 屬性離線編輯
Repeat Touch功能 完全兼容國外主流機型Map⽂件格式
規格參數
C300 H300 T300 M300
適用場合 通用機型 通用機型 適用于三溫 適用于存儲
適用晶圓尺寸 12寸/8寸
適用晶圓厚度* 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm
綜合精度 XY軸:±1μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±1μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±1μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±1μm
ZF軸:±2μm
Index time 240ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
240ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
240ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
240ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
針測壓力 250kgf 250kgf 250kgf 750kgf
測試溫度* 常溫 常溫~150℃ -55~200℃ 常溫~150℃
測試機對接方式* Cable,Hard Docking,Direct
Docking
Cable,Hard Docking,Direct
Docking
Cable,Hard Docking,Direct
Docking
Hinge,Auto-leveling
通訊接口 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232
設備尺寸 1680mm(W)*1890mm(D)*14
90mm(H)
1680mm(W)*1890mm(D)*14
90mm(H)
1680mm(W)*2080mm(D)*14
90mm(H)
2000mm(W)*1890mm(D)*14
90mm(H)
設備重量 2000kg 2000kg 2000kg 2200kg
電力要求 220VAC1.0KVA 220VAC 2.0KVA 220VAC5.7KVA 220VAC 2.0KVA
壓縮空氣氣壓 ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa
真空氣壓 ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa
※支持伯努利手指,滿足薄片要求※支持溫度定制-60℃※支持自動換卡(APC)※支持加裝FFU,滿足高潔凈度要求
C200 H200 T200 T200HV
適用場合 通用機型 通用機型 適用于三溫 適用于三代半
適用晶圓尺寸 8寸/6寸/5寸/4寸
適用晶圓厚度* 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm
綜合精度 XY軸:±2μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±2μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±2μm
ZF軸:±2μm
XY軸:±2μm
ZF軸:±2μm
Index time 250ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
250ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
250ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
250ms
(X/Y:10mm,Z:0.5mm)
針測壓力 150kgf 150kgf 150kgf 150kgf
測試溫度* 常溫 常溫~150℃ -55~150℃ -40~150℃
測試機對接方式 Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking
通訊接口 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232
設備尺寸 1300mm(W)*1542mm(D)*96
0mm(H)
1300mm(W)*1542mm(D)*96
0mm(H)
1300mm(W)*1740mm(D)*96
0mm(H)
1300mm(W)*1740mm(D)*96
0mm(H)
設備重量 1200kg 1200kg 1200kg 1200kg
電力要求 220VAC1.0KVA 220VAC 2.0KVA 220VAC5.7KVA 220VAC5.7KVA
壓縮空氣氣壓 ≥0.6Mpa ≥0.6Mpa ≥0.6Mpa ≥0.6Mpa
真空氣壓 ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa

※支持伯努利手指,滿足薄片要求※支持溫度定制-60℃※支持加裝FFU,滿足高潔凈度要求

 

 

PS:探針臺可根據客戶要求定制。

規格及設計如有更改,恕不另行通知



版權所有:深圳市森東寶科技有限公司


 深圳市森東寶科技有限公司

 地址:深圳市龍華區大浪街道新石社區嘉義源數碼科技園2號1層A區

 電話: 0755-29412885        

 郵箱: sales@cindbest.com

 

 


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